ทีมวิจัยเชิงอุตสาหกรรมบนซิลิกอนเทคโนโลยี (SIFRT)
ทีมวิจัยเชิงอุตสาหกรรมบนซิลิกอนเทคโนโลยี หรือในชื่อย่อ “SIFRT” สังกัดหน่วยวิจัยศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (TMEC) มีความร่วมมือในงานวิจัยและพัฒนากับหน่วยงานวิจัย สถาบันศึกษา ภาคเอกชนทั้งในประเทศ และระดับนานาชาติ อาทิ โครงการร่วมวิจัยพัฒนา Silicon microchannel heat exchanger ระหว่าง TMEC-ALICE/CERN โครงการรับจ้างวิจัยพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างระดับจุลภาค Silicon mold ให้กับบริษัทเอกชน เป็นต้น ทีมวิจัยเชิงอุตสาหกรรมบนซิลิกอนเทคโนโลยี ประกอบด้วย 3 กลุ่มวิจัย ดังนี้ Silicon Process Technology Team (SPT) : กลุ่มวิจัยที่มีความรู้ ทักษะ ความเชี่ยวชาญทางด้านเทคโนโลยีกระบวนการการผลิตซีมอส-เมมส์ (CMOS-MEMS microfabrication technologies) รวมทั้งประสบการณ์เฉพาะสำหรับการปฏิบัติงานจริงกับเครื่องจักรต่างๆ ในคลีนรูม (Cleanroom) เป็นอย่างดี ISFET Team (IST) : กลุ่มวิจัยที่มีความรู้ ทักษะ ความเชี่ยวชาญทางด้านเทคโนโลยี ISFET หรือ Ion sensitive field