งานวิจัย

ทีมวิจัยนวัตกรรมพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก

Facebook
Twitter

ทีมวิจัยนวัตกรรมพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก (SMD-1 RT) เป็น 1 ใน 3 ทีมวิจัยของศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (TMEC) ภายใต้การกำกับดูแลของศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ (เนคเทค) สังกัดสำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ (สวทช.) ที่มุ่งเน้นการวิจัย พัฒนา ออกแบบ วิศวกรรม (RDDE) และการวิเคราะห์พื้นผิววัสดุด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง เพื่อผลักดันให้เกิดการพัฒนากำลังคน (HRD) การสร้างเครือข่ายวิจัยทั้งในและต่างประเทศ (Research networking) การสร้างผลิตภัณฑ์นวัตกรรมในเชิงพาณิชย์ (Commercial products) และระบบนิเวศน์ (Ecosystem) สำหรับเทคโนโลยีพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิกอย่างยั่งยืน

TMEC SMD-1RT
 

สารบัญ

วิสัยทัศน์

เป็นพันธมิตรทางด้านวิจัย พัฒนา ออกแบบ วิศวกรรม และการวิเคราะห์พื้นผิววัสดุด้วยเทคโนโลยีขั้นสูง เพื่อผลักดันให้เกิดการพัฒนากำลังคน การสร้างเครือข่ายวิจัยทั้งในและต่างประเทศ อันนำไปสู่การสร้างผลิตภัณฑ์นวัตกรรมในเชิงพาณิชย์และการสร้างระบบนิเวศน์ สำหรับเทคโนโลยีพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิกอย่างยั่งยืน

พันธกิจ

มุ่งสร้างสรรค์นวัตกรรม พัฒนากำลังคน และสร้างเครือข่ายวิจัยทั้งในและต่างประเทศ เพื่อผลักดันให้เกิดผลิตภัณฑ์และระบบนิเวศน์ สำหรับเทคโนโลยีพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิกอย่างยั่งยืน

เทคโนโลยีหลัก

ทีมวิจัยนวัตกรรมพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก (SMD-1 RT) เป็น 1 ใน 3 ทีมวิจัยของศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งดำเนินงานวิจัยร่วมกับทีมวิจัยเชิงอุตสาหกรรมบนซิลิกอนเทคโนโลยี (Silicon Industrial Fabrication Research Team ชื่อย่อ: SIFRT) และทีมวิจัยการออกแบบวิเคราะห์และประเมินผลการทำงานของอุปกรณ์จากกระบวนการผลิต (Design, Simulation, Characterization, and Circuit Design Research Team, ชื่อย่อ: DSCRT) โดยใช้เครื่องจักรที่เกี่ยวข้องในกระบวนการผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ของศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งติดตั้งอยู่ภายในห้องสะอาดระดับ 100 ด้วยเทคโนโลยีการผลิตที่สอดคล้องกับกระบวนการผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำชนิดซีมอส บนแผ่นฐานซิลิกอนเวเฟอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว

ทั้งนี้กิจกรรมวิจัยของทีม SMD-1 RT จะประกอบด้วยเทคโนโลยีหลัก 4 ชนิด ได้แก่

  1. กระบวนการถ่ายแบบลายวงจรขั้นสูง (Advance lithography process)
  2. แพลตฟอร์มนวัตกรรมเทคโนโลยีพื้นผิววัสดุ (Surface innovation technology platform)
  3. แพลตฟอร์มเทคโนโลยีระบบของไหลจุลภาค (Microfluidic technology platform)
  4. เทคโนโลยีขั้นสูงสำหรับการตรวจสอบคุณสมบัติและการวิเคราะห์พื้นผิววัสดุ (Advance material characterizations and surface analysis)
SMD-1RT
SMD-1RT
1. กระบวนการถ่ายแบบลายวงจรขั้นสูง (Advance lithography process)
  • การออกแบบและสร้างลวดลายจุลภาคบนแผ่นกระจกต้นแบบ (Photomask fabrication)
  • การเคลือบฟิล์มบางชนิดต่างๆ เช่น SiO2, Si3N4, Poly-Si, a-Si, TEOS, SOG, Al, Ti, TiN
  • การกัดลวดลายด้วยสารเคมีและพลาสมา (Chemical and plasma etching)
  • การสร้างแม่แบบซิลิกอนและแม่แบบพอลิเมอร์ (Mold fabrication)
  • การหล่อพอลิเมอร์จากแม่แบบซิลิกอน (Soft lithography process)
  • การสร้างลวดลายจุลภาคระดับนาโนเมตร ด้วยเทคนิค Sidewall Image Transfer (SIT), เทคนิคการเล็มลวดลายน้ำยาไวแสง (Photoresist trimming process) และเทคนิคการถ่ายแบบลายวงจรหลายครั้ง (Multiple-patterning process)
  • กระบวนการสร้างลวดลายจุลภาค 3 มิติ (3D lithography) ด้วยเทคนิคเกรย์สเกลลิโธรกราฟี (Greyscale lithography) และเทคนิคการใช้กระจกต้นแบบที่มีโครเมียมหลายความหนา (Multi-film thickness mask, Thailand Patent no. 64545)
SMD-1RT
2. แพลตฟอร์มนวัตกรรมเทคโนโลยีพื้นผิววัสดุ (Surface innovation technology Platform)
  • การพัฒนาวัสดุผสมที่มีค่าพลังงานเชิงผิวต่ำ (Composite materials with low-surface energy)
  • การพัฒนาพื้นผิวลื่นบนวัสดุที่มีรูพรุน (Slippery Liquid-Infused Porous Surfaces, SLIP)
  • กระบวนการลนไฟ (Frame treatment process)
  • การปรับเปลี่ยนคุณสมบัติของพื้นผิว (Surface functionalization)
  • การวิเคราะห์โมเลกุลของสสาร (Molecular analysis)
  • พื้นผิวน้ำและน้ำมันไม่เกาะแบบยิ่งยวด (Superoleophobic surface)
  • พื้นผิวป้องกันการเกาะของสิ่งมีชีวิต (Anti-fouling surface)
  • การสร้างลวดลายจุลภาคบนพื้นที่ขนาดใหญ่ (Large-area patterning) ด้วยกระบวนการ Roll-to-Roll (R2R process) และ Roll-to-Plate (R2P process)

*วิจัยและพัฒนาร่วมกับหน่วยงานต่างประเทศ

smd-1rt
SMD-1RT
SMD-1RT
3. แพลตฟอร์มเทคโนโลยีระบบของไหลจุลภาค (Microfluidic technology platform)
  • อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก (Microfluidic device) ชนิดห้องปฏิบัติการบนชิป (Lab-on-a-chip, LOC), ห้องปฏิบัติการบนแผ่นดิสก์ (Lab-on-a-disc, LOD) และระบบอวัยวะจำลองบนชิป (Organ-on-a-chip, OOC)
  • Micro-droplet devices (cell sorting/cell trapping/cell culturing)
  • การเชื่อมด้วยพลาสมา (Plasma bonding) และการตัดด้วยเลเซอร์ (Laser cutting)
  • การฉีดพลาสติก (Injection molding) *วิจัยและพัฒนาร่วมกับหน่วยงานต่างประเทศ
SMD-1RT
4. เทคโนโลยีขั้นสูงสำหรับการตรวจสอบคุณสมบัติและการวิเคราะห์พื้นผิววัสดุ (Advance material characterizations and surface analysis)
  • Field-emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) with Energy Dispersive X-ray Spectroscope (EDX) and X-ray Fluorescence (XRF)
  • Auger Electron Spectroscopy (AES)
  • Contact angle goniometer
  • Spectrophotometer
  • Ellipsometer
  • Film stress measurement
  • Step profilometer
sad-1rt

การให้บริการและให้คำแนะนำ

  • กระบวนการออกแบบและสร้างลวดลายจุลภาคบนพื้นผิวต่างๆ
  • การพัฒนาพื้นผิวให้มีคุณสมบัติน้ำและน้ำมันไม่เกาะแบบยิ่งยวด
  • กระบวนการออกแบบและสร้างอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก ห้องปฏิบัติการย่อส่วนบนชิป ห้องปฏิบัติการย่อส่วนบนแผ่นดิสก์ และระบบจำลองการทำงานของอวัยวะบนชิป
  • การตรวจสอบคุณสมบัติและการวิเคราะห์พื้นผิววัสดุด้วยเทคนิคต่างๆ
  • หลักสูตรฝึกอบรมบุคลากรในหัวข้อต่างๆที่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีสารกึ่งตัวนำ

ผลงานวิจัยในปัจจุบัน

  • Surface innovation technology platform
    1. โครงการวิจัยเฟล็กซ่า (Large-area Flexible Polymers with Antifouling Robust Micro-structure, FleXARs) เพื่อสร้างชั้นฟิล์มขนาดใหญ่ที่มีพื้นผิวที่สิ่งมีชีวิตชนิดต่างๆไม่เกาะ (Everything-free surface) สำหรับประยุกต์ใช้งานในสภาวะทะเล การแพทย์ ระบบขนส่งมวลชนสาธารณะ อุตสาหกรรมอาหาร วัสดุก่อสร้าง และธุรกิจพลังงาน เช่น พื้นผิวทำความสะอาดตนเอง พื้นผิวป้องกันการเกาะของแบคทีเรียและสิ่งมีชีวิตต่างๆ เป็นต้น
    2. โครงการพัฒนาเทคโนโลยีพื้นผิวลื่น (Slippery Liquid-Infused Porous Surface, SLIPS) เพื่อสร้างเป็นพื้นผิวป้องกันสิ่งมีชีวิตเกาะและพื้นผิวทำความสะอาดตนเองได้
    3. โครงการวิจัย High-contrast Marking Vehicle Tire เพื่อพัฒนาเทคโนโลยีลวดลายจุลภาคที่มีค่าการสะท้อนแสงต่ำมาก (Ultra-low light reflectivity micro-structure) สำหรับประยุกต์ใช้งานในชิ้นส่วนยานพาหนะและอุปกรณ์เชิงแสง
    sad-1rt
    Microfluidic Technology Platform
    1. Cell sorting/cell trapping/cell culturing สำหรับระบบตรวจและคัดแยกเซลล์ก่อมะเร็ง (Cancer Stem Cell, CSC)
    2. ระบบ Micro-droplet generator and diagnostic assay สำหรับการทดลองทางชีววิทยาแบบรวดเร็วในปริมาณมาก
    3. ห้องปฏิบัติการบนแผ่นดิสก์ (LOD) สำหรับการตรวจคัดกรองพยาธิโรคเท้าช้างแบบกึ่งอัตโนมัติ (Semi-automated Microfilaria Detection System, AMS)
    4. ห้องปฏิบัติการบนแผ่นดิสก์ (LOD) สำหรับการตรวจวัดคุณภาพน้ำนมวัวดิบ (Raw milk quality monitoring system)
    5. เทคโนโลยีการพัฒนาแบบจำลองเนื้อเยื่อลำไส้บนชิป (Gut-on-Chip) โดยเทคโนโลยีระบบของไหลจุลภาค เพื่อการศึกษาด้านพิษวิทยาและเภสัชจลนศาสตร์ของอุตสาหกรรมอาหาร ยา และอื่นๆ
    sad-1rt
    รายชื่อวารสารวิชาการ
    – ผลงานตีพิมพ์ด้านนวัตกรรมพื้นผิววัสดุ และกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร
    1. J. Jantawong, et.al., “The study on 3-D microstructure fabrication with gray-scale lithography technique”, Ladkrabang Eng. J., 25 (2), pp. 42-46 (2007).
    2. N. Atthi, et.al., “Study of optimization condition for spin coating of the photoresist film on 3 inches wafer by Taguchi design of experiment”, Khon kaen Univ. Res. J., 13 (3), pp. 347-352 (2008).
    3. N. Atthi, et.al., “3-dimensionals lithography techniques for air bearing surface patterning in hard-disk drive reading/writing head manufacturing”, Khon kaen Univ. Res. J., 13 (3), pp. 353-359 (2008).
    4. N. Atthi, et.al., “Chemical resistant improvement of natural rubber and nitride gloves by coating with hydrophobic film”, Adv. Mater. Res., 55-57, pp. 741-744 (2008).
    5. N. Atthi, et.al., “Study of optimization condition for spin coating of the photoresist film on rectangular substrate by Taguchi design of an experiment”, Songklanakarin J. Sci. Technol., 31(3), pp. 331-335 (2009).
    6. O. Nimittrakoolchai, et.al., “Parameter optimization by using a Taguchi’s method for deposition water-repellent film”, Mineral. Met. Mater. Soc., pp. 1185-1190 (2009).
    7. N. Atthi, et.al., “An effect of viscosity of coating materials on silicon micro-patterning arrays for superhydrophobic surface”, Adv. Mater. Res., 93-94, pp. 447-450 (2010).
    8. N. Atthi, et.al., “Improvement of photoresist film coverage on high topology surface with spray coating technique”, J.Microsc. Soc. Thailand, 24 (1), pp. 42-46 (2010).
    9. N. Atthi, et.al., “An effect of silicon micro-patterning arrays on superhydrophobic surface”, J. Nanosci. Nanotechnol., 11, pp. 1-7 (2011).
    10. N. Atthi, et.al., “Fabrication of ultra-hydrophobic surface with low reflectance using black silicon nanostructures”, NECTEC Tech. J., (22), pp. 180-185 (2010).
    11. N. Chathirat, et.al., “A micro-grating sensor for DNA hybridization and antibody HSA-antigen HSA interaction experiments”, Jpn. J. Appl. Phys. 50 (1s2), p. 01BK01 (2010).
    12. N. Atthi, et.al., “Increasing active surface area to fabricate ultra-hydrophobic surface by using “Black silicon” with Bosch etching process”, J. Nanosci. Nanotechnol, 12, pp. 1-9, (2012).
    13. N. Atthi, et.al., “Effect of black silicon pillar height on water repellent and surface reflectance”, J. Microsc. Soc.Thailand, 4 (1), pp. 32-35, (2011).
    14. P. Pholprasit, et.al., “Pattern transfer characterization after double-level lithography for a fabrication of the 3-D AlTiC air bearing surface of the hard disk slider”, Jpn. J. Appl. Phys., 51 (6s), p. 06FF08 (2012).
    15. N. Atthi, et.al., “Trimming lithography: The alternative technology for sub-resolution and sub-wavelength patterning”, ECTI Trans. Electric. Eng., Electron. Commun.,10 (2), pp. 198-207 (2012).
    16. N. Siwarakrangsun, et.al., “Fabrication of Multi-level photoresist patterns in one-step lithography by using Cr/Ni Multi-film thickness mask,” Adv. Mater. Res., 658, pp. 93-96 (2013).
    17. C. Viphavakit, et.al., “Development of integrated microfluidic device for optical flow rate sensing”, J. Circuit Syst. Comp., 22, p. 1340016 (2013).
    18. C. Viphavakit, et.al., “Realization of a polymer nanowire optical transducer by using the nanoimprint technique”, Appl. Optics. 53 (30), p. 1 (2014).
    – ผลงานตีพิมพ์ด้านแพลตฟอร์มเทคโนโลยีไมโครฟลูอิดิก
    1. Phuakrod, et.al., “Diagnosis of feline filariasis assisted by a novel semi-automated microfluidic device in combination with high resolution melting real-time PCR”, Parasites & Vectors (2019).
    2. D. Ketpun , et.al., “A Potential Application of Triangular Microwells to Entrap Single Cancer Cells: A Canine Cutaneous Mast Cell Tumor Model” , Micromachines 10, 841 (2019).
    3. T. Tongmanee, et.al., “Effects of the cell and triangular microwell size on the cell-trapping efficacy and specificity”, J. Mechanical Sci. Technol. 33 (11) pp.5571-5580 (2019).
    4. T. Suwannaphan, et.al., “Investigation of Leukocyte Viability and Damage in Spiral Microchannel and Contraction-Expansion Array”, Micromachines 10, 772 (2019).
    5. D. Tantraviwat, et.al., “Highly dispersed porous polydimethylsiloxane for boosting power-generating performance of triboelectric nanogenerators”, Nano Energy (2019).
    6. P. Inpota, et.al., “Chemiluminescence detection with microfluidics for innovative in situ measurement of unbound cobalt ions in dynamic equilibrium with bound ions in binding study with polyethyleneimine and its functionalized nanoparticles”, Talanta, (2018).
    7. P. Inpota, et.al., “Microfluidic Analysis with Front-Face Fluorometric Detection for the Determination of Total Inorganic Iodine in Drinking Water”, Jpn. Soc. for Analytical Chem., (2018).
    8. D. Ketpun, et.al., “The Viability of Single Cancer Cells after Exposure to Hydrodynamic Shear Stresses in a Spiral Microchannel”, Micromachines 9(1), (2017).
    9. A. Thanormsridetchai, et.al., “Focusing and sorting of multiple-sized beads and cells using low-aspect-ratio spiral microchannels”, J. Mechanical Sci. Technol. 31, (2017).
    – ผลงานตีพิมพ์ด้านเทคโนโลยีชีวภาพ
    1. P. Saengdee, et.al., “Surface modification of silicon dioxide, silicon nitride and titanium oxynitride for lactate dehydrogenase immobilization”, Biosens Bioelectron, 67, 134-138 (2015).
    2. P. Saengdee, et.al., “A silicon nitride ISFET based immunosensor for Ag85B detection of tuberculosis”, Analyst, 141(20), 5767-5775 (2016).
    3. P. Saengdee, et.al., “Optimization of 3-aminopropyltriethoxysilane functionalization on silicon nitride surface for biomolecule immobilization”, Talanta, 207, 120305 (2020).
    รายชื่อสิทธิบัตร
    1. N. Atthi et.al., “Micropallette to holding micro-workpieces by using photolithography process”, Thailand patent (Granted no. 73809), January 2020.
    2. N. Atthi, et.al., “Chromium/nickel multi-film thickness mask for three-dimensional microstructure fabrication”, Thailand patent (Granted no. 64545), 2018.
    3. N. Atthi, et.al., “Photoresist 3D structures formation by varying dose technique from a single light source”, Thailand patent (Pending no. 0701001176), March 2007.
    4. N. Atthi et.al., “Multi-Film Thickness Mask, MFT-Mask”, Thailand patent (Pending no. 0701002029), April 2007.
    5. N. Atthi, et.al., “Chemical-adhesive protective gloves”, Thailand patent (Pending no. 0801003347), June 2008.
    6. N. Atthi, et.al., “Self-forming microlens by using a deflection of that film”, Thailand patent (Pending no. 0901001917), April 2009.
    7. O.Trithaveesak, et.al., “Fabrication of planar chemical reference micro-electrode”, Thailand patent (Pending no. 0901002164), May 2009.
    8. N. Atthi, et.al., “Biosensor arrays fabricated by thin film layer on silicon opaque substrate”, Thailand patent (Pending no. 0901003142), July 2009.
    9. N. Atthi, et.al., “Laminating an adhesive film on deep-trench substrate for holding it on a vacuum handling system”, Thailand patent (Pending no. 0901003316), July 2009.
    10. N. Atthi, et.al., “Increasing a surface roughness with pentagonal and octagonal micro-pattern arrays for superhydrophobic surface”, Thailand patent (Pending no. 0901003706), July 2009.
    11. J. Supadech, et.al., “Fabrication of water and oil-repellant with a high reflectivity surface by using black silicon”, Thailand patent (Pending no. 1001001270), August 2010.
    12. N. Atthi, et.al., “Method to make a photoluminescence on silicon nano-pillar”, Thailand patent (Pending no. 1001001708), November 2010.
    13. K. Saejok, et.al., “Method and process step to make a cavity for silicon surface membrane sensor”, Thailand patent (Pending no. 1101000088), April 2011.
    14. N. Atthi, et.al., “Increasing the pattern density and surface area by using trimming lithography”, Thailand patent (Pending no. 1101001717), August 2011.
    15. S. Boonruang, et.al., “Sub-diffraction limited diffractive optical elements”, Thailand patent (Pending no. 1201000867), January 2012.
    16. N. Atthi, et.al., Antifouling Materials and Method of Fabrication Therefor”, Thailand patent (Pending no. 1701003836), July 2016.
    17. N. Atthi, et.al., “Anti-fouling materials with robust microstructures”, Thailand patent (Pending no. 1801005675), August 2018.
    18. N. Atthi, et.al., “Anti-fouling materials with robust guard-ring microstructures”, Thailand patent (Pending no. 1801005676), August 2018.
    19. N. Atthi, et.al., “Antifouling Robust Microstructure”, Thailand patent (Pending no. 1802004081), August 2018.
    20. N. Atthi, et.al., “Robust Microstructure with Guard Ring Pattern”, Thailand patent (Pending no. 1802004082), August 2018.
    21. P. Pattamang, et.al., “Lab-on-disc for substance separation and characterization”, Thailand patent (Pending no. 1902004384), November 2019.
    22. N. Atthi, et.al., “Antifouling Robust Microstructure on Material Surface”, Thailand petty patent (Pending no. 1903002291), September 2019.
    23. K. Saejok, et.al., “Superhydrophobic Electrical Conductivity Probe”, Thailand petty patent (Pending no. 1903002439), September 2019.

บุคลากรและความเชี่ยวชาญ

  • ดร.นิธิ อัตถิ (หัวหน้าทีมวิจัย) : กระบวนการผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำบนซิลิกอน โครงสร้างสามมิติของชั้นฉนวน/เกตโลหะ และการสร้างพื้นผิวป้องกันการเกาะของสิ่งมีชีวิต
  • นายวิศรุต ศรีพุ่มไข่ (ผู้ช่วยนักวิจัยอาวุโส) : นาโนเทคโนโลยี อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก ห้องปฏิบัติการย่อส่วนบนชิปและบนแผ่นดิสก์ และการสร้างพื้นผิวป้องกันการเกาะของสิ่งมีชีวิต)
  • นางสาวภัทรลักษณ์ ปัถมัง (ผู้ช่วยนักวิจัย) : นาโนเทคโนโลยี อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก ห้องปฏิบัติการย่อส่วนบนชิปและบนแผ่นดิสก์ และการสร้างพื้นผิวป้องกันการเกาะของสิ่งมีชีวิต
  • งสาวอรพรรณ ทองสุข (เจ้าหน้าที่ห้องปฏิบัติการ) : การตรวจสอบคุณสมบัติและการวิเคราะห์พื้นผิววัสดุ และห้องปฏิบัติการทดสอบและสอบเทียบ ด้วยเทคนิค FE-SEM, EDX, XRF, AES และ Contact angle goniometer
  • นางสาวรัตนาวรรณ เมนะเนตร (ผู้ช่วยนักวิจัยอาวุโส) : กระบวนการผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำบนซิลิกอน ไมโคร/นาโนเทคโนโลยี กระบวนการโฟโตลิโธรกราฟี, เซนเซอร์ชนิดต่างๆ
  • ดร. ภาวศุทธิ แสงดี (นักวิจัยหลังปริญญาเอก) : การตรึงพื้นผิววัสดุด้วยสารชีวโมเลกุล เทคนิคการวิเคราะห์โมเลกุลและคุณสมบัติของวัสดุ เซนเซอร์ (Electrochemical device, Quartz Crystal Microbalance (QCM))
  • นายนรบดี ราญรอน (ผู้ช่วยนักวิจัย) : อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก ห้องปฏิบัติการย่อส่วนบนชิปและบนแผ่นดิสก์
  • นางสาวกฤณรัศมิ์ ปานคง (ผู้ช่วยนักวิจัย) : ระบบสื่อสาร, AutoCAD, MATLAB, LabVIEW, C++
  • นางสาววรินรำไพ เอื้อชินกุล (ผู้ช่วยนักวิจัย) : นาโนเทคโนโลยี , วัสดุนาโน, การใช้เครื่องมือ FE-SEM, HPLC, AF4, DLS, UV-Vis Spectrophotometer, Contact angle goniometer

ติดต่อ

อีเมล: tmec-smd@nectec.or.th
โทร: 038-857100 ต่อ 124, 125, 307, 312
เว็บไซต์: https://tmec.nectec.or.th/home/index/lang/eng