เมื่อปลายทศวรรษ1950 นักฟิสิกส์ชื่อ ริชาร์ด  เฟย์แมน ได้เสนอเงินรางวัลแก่ผู้ที่สามารถสร้างมอเตอร์ไฟฟ้าที่มีขนาดเล็กกว่า1/64 นิ้ว ขึ้นมาได้ และในที่สุดวิลเลี่ยม  แมคเลลแลน ซึ่งทุ่มแทแรงงานอย่างมากในการผลิตอุปกรณ์ด้วยมือ โดยใช้ทวีตเตอร์และกล้องจุลทรรศน์  ความจริงแล้วงานด้านระบบไมโครอิเล็กโตรแมคานิกส์ (Micro  electromechanical  system หรือ MEMS) ซึ่งเพิ่งจะจัดตั้งอย่างจริงจังเมื่อกลางทศวรรษ1980นี้  ปัจจุบันเติบโตเต็มที่ถึงจุดที่ได้เห็นผลผลิตและมีการผลิตมอเตอร์ขนาดจิ๋วเป็นจำนวนมาก  ขอบข่ายใหม่ของไมโครเซนเซอร์ที่เชื่อมต่อกันและเครื่องมือต่างๆนั้นได้มาจากความคิดและห้องปฏิบัติการของนักวิทยาศาสตร์และวิศวกรที่ร่วมวิจัยเหล่านี้อุปกรณ์ดังกล่าวถูกออกแบบให้สามารถใช้งานในระยะไกลได้ เช่น จากก้นทะเลลึกลงไปใต้ดินจนถึงพื้นที่ไกลออกไปในอวกาศและดาวเคราะห์ที่อยู่ไกลออกไป  นอกจากนี้ความทนทานและต้นทุนที่ตํ่าของไมโครเซนเซอร์ระยะไกลดังกล่าวมีส่วนช่วยให้ได้ข้อมูลมากมายเกี่ยวกับสิ่งที่อยู่แวดล้อมเราทางกายภาพ  MEMS เป็นตัวแทนของการใช้งานร่วมกันของสารกึ่งตัวนำที่มีวิศวกรรมเชิงกลในระดับที่ตํ่ามากและเป็นขอบข่ายที่เติบโตขึ้นอย่างมหาศาลในทศวรรษที่ผ่านมามีบริษัทจำนวนมากจากยักษ์ใหญ่ด้านสารกึ่งตัวนำจนถึงบริษัทที่เพิ่งเริ่มต้น MEMS ที่มีขนาดน้อยกว่า 1 ไมโครเมตร  โดยยังมีความแตกต่างอย่างยิ่งกับการพัฒนาในปัจจุบันซึ่งสามารถผลิตชิปได้ขนาดเล็กถึง 0.18 ไมครอน  ความจริงแล้วมีการคาดการณ์ไว้ว่าภายในปี2010จะมีขนาดเล็กสุดถึง 70 นาโนเมตร