ABSTRACT -- Micro-Electro-Mechanical Systems, or MEMS, are integrated micro devices or systems combining electrical and mechanical components. They are fabricated using integrated circuit (IC) batch processing techniques and can range in size from micrometers to millimeters. These systems can sense, control and actuate on the micro scale, and function individually or in arrays to generate effects on the macro scale. This paper presents an overview of MEMS technology with emphasis on optical applications. Applications of MEMS devices vary in many fields from automotive transducers, biomedical technologies, communication systems, robotics, aerospace, micro-optics, industrial sensors and actuators. The applications of MEMS in optics include display systems, optical switching, optical communication, optical data storage, optical processing and interconnection, and adaptive optics. Examples of micro-optical components and systems are described in this paper.
Keywords -- MEMS, MOEMS, micromachining, micro-optics, sensor, actuator

บทคัดย่อ -- ระบบจุลภาคไฟฟ้า - เครื่องกล (MEMS) คือประดิษฐ์กรรมขนาดไมโครมิเตอร์ซึ่งรวมส่วนประกอบของระบบไฟฟ้าและเครื่องกลเข้าด้วยกัน ระบบจุลภาคไฟฟ้าเครื่องกลสร้างโดยอาศัยเทคโนโลยีการผลิตวงจรทรานซิสเตอร์ซึ่งมีขนาดตั้งแต่ไมโครมิเตอร์ถึงมิลลิมิเตอร์ ระบบดังกล่าวนี้สามารถตรวจวัด,ควบคุมและกระตุ้นในระดับต่ำและสามารถทำงานทั้งในแบบอิสระหรือแบบขบวนเพื่อให้มีผลในระดับสูงขึ้น บทความนี้กล่าวถึงภาพรวมของเทคโนโลยีระบบจุลภาพไฟฟ้า-เครื่องกลและการนำไปใช้ประโยชน์โดยเน้นการใช้ประโยชน์ทางด้านแสง การใช้ประโยชน์ของระบบนี้สามารถใช้ได้ในหลายสาขา อาทิ เทคโนโลยียนตกรรม เทคโนโลยีการแพทย์ชีวภาพ เทคโนโลยีระบบสื่อสาร ระบบหุ่นยนต์ ระบบอากาศยาน เป็นต้น การใช้ประโยชน์ทางด้านแสงสามารถนำไปสร้างระบบการแสดงผล ระบบการสับเปลี่ยนทางแสง การสื่อสารด้วยแสง การเก็บข้อมูลด้วยแสง การประมวลและเชื่อมต่อข้อมูลด้วยแสง รวมทั้งการปรับปรุงภาพทางดาราศาสตร์ ในบทความนี้ได้อธิบายถึงตัวอย่างของอุปกรณ์และระบบขนาดเล็กเกี่ยวกับแสง
คำสำคัญ -- ระบบจุลภาคไฟฟ้า - เครื่องกล, ระบบจุลภาคไฟฟ้าเครื่องกลทางแสง, กลจักรขนาดเล็ก, อุปกรณ์ขนาดเล็กเกี่ยวกับแสง, อุปกรณ์ตรวจวัด,อุปกรณ์กระตุ้น