Thailand The big Picture
Picture of NECTEC's logo
Picture of Thailand the Big Picture's logo เนคเทค
Picture of UK flag Picture of USA flag English/ Picture of Thai flag ไทย ทั่วโลก
ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค (MEMS)

ระบบ
ไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค (MEMS) ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค หรือ Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) เป็นอุปกรณ์ขนาดเล็ก(ระดับไมโครมิเตอร์ หรือ 1 ในล้านของเมตร) ที่ประกอบด้วยส่วนไฟฟ้าขับเคลื่อนและกลไกที่สามารถเคลื่อนที่ได้ และสร้างขึ้นโดยใช้เทคโนโลยีการผลิตวงจรรวม (Integrated Circuit Technology) เช่นเดียวกันกับการผลิตวงจรอิเล็กทรอนิกส์ ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคเป็นเทคโนโลยีสมัยใหม่ที่เติบโตอย่างสูงและต่อเนื่องในปัจจุบัน โดยถูกนำไปใช้ในอุตสาหกรรมเครื่องมือ Sensors และ Actuators ชนิดต่างๆ เพื่อวัด อุณหภูมิ, ความดัน, ความเร่ง ฯลฯการนำไปใช้ประโยชน์ในสาขาต่างๆ อาทิเช่น เทคโนโลยียานยนต์, เทคโนโลยีการแพทย์และชีวภาพ, การสื่อสารโทรคมนาคม, เครื่องมือวัดทางอุตสาหกรรม ฯลฯ


อาเรย์กระจกขนาดจิ๋วที่ออกแบบโดยนักวิจัยไทยและ
สร้างขึ้นเพื่อใช้ในงาน Adaptive Optics
หรือ Free-Space Optical Communication



อาเรย์กระจกขนาดจิ๋วสำหรับ
Optical Switch Component
ใช้ในงานเทคโนโลยีสื่อสารทางแสง
(Optical Communication and Network)



มอเตอร์ขนาดจิ๋ว (200 ไมครอน)
ใช้หลักการขับเครื่อนโดยประจุ
ไฟฟ้าสถิตย์ (Electrostatic)


มดถือเกียร์ขนาดจิ๋วที่สร้างขึ้นโดย
เทคโนโลยี Micromachining




ในปัจจุบันระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคไม่เป็นเพียงแค่การทดลองวิจัยเท่านั้น แต่นำมาใช้ในการผลิตอุปกรณ์เชิงพาณิชย์มากมายหลายตัวอย่าง เช่น ในอุตสาหกรรมยานยนต์ มีอุปกรณ์วัดค่าความเร่ง ใช้ในรถยนต์ทุกคันเพื่อควบคุมการปล่อยถุงลมนิรภัย, อุปกรณ์วัดความดัน ใช้ในเครื่องยนต์และยางล้อรถยนต์

 


ในปัจจุบันเทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคนี้ได้รับความสนใจ และก้าวล้ำไปอย่างมากทั่วโลกอันเนื่องมาจากความต้องการอุปกรณ์ที่มีขนาดเล็ก, สมรถนะสูง และราคาถูกในหลาย ๆ อุตสาหกรรม ผลพวงจากเทคโนโลยีการผลิตวงจรรวมที่พัฒนาและเติบโตอย่างต่อเนื่องตั่งแต่ช่วงปี ค.ศ. 1970ทำให้การสร้างอุปกรณ์ทางกลที่มีขนาดเล็กในระดับที่สามารถบรรจุอยู่ในชิปมาตรฐาน (Microchip) เป็นไปได้ในปัจจุบัน การสร้างอุปกรณ์ไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคอาศัยเทคนิคการปลูกสาร, การกัดกำจัด, และ การสร้างรูปแบบโดยการใช้เทคนิคโฟโตลิโทรกราฟี่


อนาคตของเทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค

การพัฒนาเทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคยังคงได้รับความสนใจอย่างสูง และต่อเนื่อง คาดว่าในปี ค.ศ. 2004 เทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคจะมีมูลค่าทางเศรษฐกิจสูงถึง 7 พันล้านเหรียญดอลลาร์สหรัฐฯ โดยที่ส่วนแบ่งทางการตลาดของอุปกรณ์ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคสูงสุด เป็นอุปกรณ์ทางด้านเทคโนโลยีสารสนเทศ รองลงมาเป็นอุปกรณ์ตรวจวัดทางอุตสาหกรรมและยานยนต์ต่างๆ


ในระบบสื่อสารทางแสง มีอุปกรณ์สวิทช์ชิ่งเชิงแสง (Optical Switch), อุปกรณ์เพิ่มและกำจัดสัญญาณแสง (Optical Add/Drop Multiplexer), อุปกรณ์เชื่อมต่อวงจรแสง (Optical Cross-Connect), อุปกรณ์ปรับและลดทอนกำลังของแสง (Variable Optical Attenuator) ฯลฯ



อุปกรณ์เชื่อมต่อวงจรแสง และ อุปกรณ์สวิทช์ชิ่งเชิงแสง โดยใช้เทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค (MEMS-based Optical Cross-Connect and Optical Switch) โดย Lucent Technologies

งานวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคในหน่วยงาน NECTEC

  • การวิจัยขบวนการสร้างและวัสดุที่ใช้ในระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค
  • อุปกรณ์สวิตชิ่งเชิงแสงใช้ในการสื่อสารทางแสง
  • อุปกรณ์เชื่อมโยงทางเดินแสง
  • Actuator ขนาดจิ๋วสำหรับงานพัฒนาหุ่นยนต์
  • อาเรย์กระจกขนาดจิ๋วสำหรับการสื่อสารผ่านอากาศแบบใช้แสง
  • การควบคุมเสถียรภาพของอุปกรณ์ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค

ในทางการแพทย์และสาธารณสุข มีอุปกรณ์วัดความดันเลือด, อุปกรณ์การวิเคราะห์สารและDNA ฯลฯ

ในอุตสาหกรรมโรงงาน มีอุปกรณ์วัดการไหล, อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ, อุปกรณ์วัดความชื้น, อุปกรณ์วัดชนิดของแก็ส ฯลฯ


อุปกรณ์วัดความดันของไหลและอุปกรณ์วัดความชื้นเชิงพาณิชย์โดยใช้เทคโนโลยีระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค

Untitled Document
NSTDA  ||  NECTEC ||  BIOTEC  ||  MTEC ||  NITC ||  SOFTWARE PARK ||  GITS ||  e-Learning ||  BID ||  Courseware ||  ThaiCert  ||  CCP

สงวนลิขสิทธิ์โดยศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
112 อุทยานวิทยาศาสตร์ประเทศไทย ถนนพหลโยธิน ตำบลคลองหนึ่ง อำเภอคลองหลวง จังหวัดปทุมธานี 12120 โทร 02-564-6900 ต่อ 2346-55
E-mail : หรือ
แผนที่